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雪花清洗機清洗微芯片

發(fā)布時間:2023-10-11
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在微芯片生產中雪花清洗技術用途廣泛,二氧化碳雪射流清潔在通過光刻技術生產微芯片的傳統(tǒng)中也得到了證明。它用于生產各種應用的磁阻(MR)傳感器。cryosnow公司的低溫雪花清洗技術用于制造 MR 傳感器的三維微芯片,作為傳統(tǒng)濕化學清潔的有效且環(huán)保的替代方案。這些通常需要使用超純介質進行昂貴的沖洗過程。CO2雪花清洗技術去除了金屬化后在導電路徑邊緣形成的所謂圍欄。然后可以將下一個結構應用于硅晶圓。

由于即使是最小的流體介質殘留物也會影響微電子元件的功能或保護涂層的附著力,因此也需要可靠地去除這些殘留物。二氧化碳cryoSnow 雪花清洗技術為清潔和提高保護涂層的附著力提供了一種經濟、無殘留的解決方案。同時,該工藝還可以對粘合和接觸區(qū)域等特定部分進行選擇性處理。

該工藝還為射頻識別(RFID)應用的微芯片封裝提供了解決方案。在組裝之前,半導體通過夾持器放置在一個特殊的彈匣中。在此過程中,機器人產生足夠的氣流,這可能會導致極輕的碎片從包裝中取出。為了防止這種情況,芯片被從包裝后部施加的真空壓住。為此,必須鉆一個小孔,并清除鉆孔造成的殘留物。二氧化碳雪花清洗裝置在這一特定過程中表現(xiàn)出色。

所謂的圍欄是由導體路徑
上的濺射在邊緣的光刻膠中發(fā)生化學
反應而產生的,可以使用干CO2有效可靠地
去除二氧化碳雪射流清潔過程表現(xiàn)出色。

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